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小金井FPD用电动CT泵/日本KOGANEI电动CT泵/原装产品

泵（FPD用电动CT泵）

电动CT泵F-EPT系列F-EPT30型

●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.05MPa	3～30	0.05～3

电动CT泵F-EPT系列F-EPT60型

●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.05MPa	6～60	0.05～5

电动CT泵F-EPT系列F-EPT100型

●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.05MPa	10～100	0.05～5

电动CT泵F-EPT系列F-EPT200型

●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.05MPa	20～200	0.1～15

电动CT泵F-EPT系列F-EPT300型

●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.05MPa	30～300	0.1～12

泵（电动CT泵）

电动CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型

●膜片、波纹管之后，采用了全新构造的定量排出泵
●使用液体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～6	0.1～4

电动CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型

●膜片、波纹管之后，采用了全新构造的定量排出泵
●使用液体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～10	0.1～4

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